欧美成人三级_九色在线视频_视频一区在线播放_亚洲一级一级97网_亚洲最大的免费视频网站_幼a在线观看_国产美女av

編輯此資訊 : 深度光刻技術—上海激光刻字

推廣資訊

分類目錄: *

信息類型: *

公司庫品牌庫產品庫供應信息求購信息服務項目解決方案業界資訊新聞事件展會情報名詞解釋知識庫文章招聘信息網址連接圖片庫資料下載創業加盟招商合作促銷活動其它信息

標題: *

詳細內容: *

激光刻字集成電路制造中利用光學-化學反應原理和化學、物理刻蝕方法，將電路圖形傳遞到單晶表面或介質層上，形成有效圖形窗口或功能圖形的工藝技術。隨著半導體技術的發展，光刻技術傳遞圖形的尺寸限度縮小了2～3個數量級（從毫米級到亞微米級），已從常規光學技術發展到應用電子束、X射線、微離子束、激光等新技術；使用波長已從4000埃擴展到0.1埃數量級范圍。光刻技術成為一種精密的微細加工技術-上海激光刻字友情指出！ 常規光刻技術是采用波長為2000～4500埃的紫外光作為圖像信息載體，以光致抗蝕劑為中間（圖像記錄）媒介實現圖形的變換、轉移和處理，至終把圖像信息傳遞到晶片(主要指硅片)或介質層上的一種工藝。在廣義上，它包括光復印和刻蝕工藝兩個主要方面。 激光刻字加工中微米級圖形的光復印技術除要求先進的曝光系統外,對扌亢蝕劑的特性、成膜技術、顯影技術、超凈環境控制技術、刻蝕技術、硅片平整度、變形控制技術等也有極高的要求。 深度光刻也是目前研究比較熱門的一項技術,以前的光刻都只限于表面光刻,膠層厚度僅為1Lm左右,現在由于一些特殊的應用,如離子刻蝕,剝離,三維微機械和LIGA工藝等,需要制備幾十甚至幾百微米厚的膠層。由于焦深的原因,深度光刻通常都采用接觸/接近式光刻(但也有少數采用1@投影式光刻)。光源目前主要為紫外光和X射線,紫外光目前正膠可做到100Lm左右厚度,再厚就很難曝透。負膠靈敏度高甚至可以做出600Lm厚,50Lm寬的圖形,只是曝光時間較長。X射線是今后深度光刻發展的方向,用于深度光刻的X射線一般需采用0.1~0.4nm范圍內的硬X射線,這個波段的硬X射線穿透力較強,可使深層的光刻膠感光,X射線可光刻出500Lm左右厚度的圖形,曝光時間也較長[15] 。上海激光焊接指出，此外硬X射線穿透力較強,對掩膜的吸收層厚度也有一定要求。 深度光刻對分辨率的要求不高,通常只要求做到20~50Lm左右的分辨率,但要求較高的深寬比。如果既要求一定的厚度,又要求較高的分辨率,這在工藝中是很難實現的,例如要在10Lm厚的膠層上刻出2Lm的線條,就相當于要在1Lm厚的膠層上刻出0.2Lm的線寬。但UltratechStepper公司的研究人員已采用1@投影式光刻機分別在10Lm和100Lm厚的膠層上刻出了2Lm和7Lm的線條深度光刻對側壁和底面的陡度要求較高,從一些實驗結果來看,紫外光和X射線都基本能滿足要求。 我司相關服務： 上海氬弧焊接 歡迎有需求的用戶點擊進入我司主頁http://www.shlqjg123.com訪問，了解我司更多服務！

上傳圖片:

* (jpg , gif , png) format

聯繫人信息

姓名: *

電子信箱: *

手機:

公司名稱:

聯繫電話:

詳細地址:

郵遞區號:

網址URL:

其他

關鍵字:

有效期:

* 天

管理密碼:*

* 刪除/修改

更換密碼:

* 如有必要，可重新設置新的管理密碼

刪除此資訊

*