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[產品庫]主題: 光刻機?性能指標及分類—上海庫存 ...   發佈者: 上海庫存芯片回收
06/23/2022
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光刻機?性能指標及分類—上海庫存芯片回收

光刻機又名:掩模對準曝光機,曝光係統,光刻係統等,是製造芯片的核心裝備。它採用類似照片沖印的技術,(庫存IC芯片回收)把掩膜版上的精細圖形通過光線的曝光印製到矽片上。

光刻機?性能指標——庫存芯片回收公司小編來爲大傢娓娓道來:

1.

光刻機的主要性能指標有:支持基片的尺寸範圍,分辨率、對準精度、曝光方式、光源波長、光強均勻性、生産效率等。

2.

分辨率是對光刻工藝加工可以達到的至細線條精度的一種描述方式。光刻的分辨率受受光源衍射的限製,所以與光源、光刻係統、光刻膠和工藝等各方麵的限製。

3.

對準精度是在多層曝光時層間圖案的定位精度。

4.

曝光方式分爲接觸接近式、投影式和直寫式。

5.

曝光光源波長分爲紫外、深紫外和極紫外區域,光源有銾燈,準分子激光器等。

光刻機?分類:

A 手動:指的是對準的調節方式,是通過手調旋鈕改變它的X軸,Y軸和thita觮度來完成對準,對準精度可想而知不髙瞭;

B 半自動:指的是對準可以通過電動軸根據CCD的進行定位調諧;

C 自動: 指的是 從基闆的上載分享,曝光時長和循環都是通過程序控製,自動光刻機主要是滿足工廠對於處理量的需要。

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最後更新: 2022-06-23 14:05:17
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